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等離子清洗機(jī)

簡(jiǎn)要描述:等離子清洗機(jī)
1、采用射頻電源、自動(dòng)匹配器,一鍵式操控。
2、低溫等離子體,能量低、密度高,適合處理特殊材料。
3、無環(huán)境污染、無化學(xué)品消耗。
4、可處理形狀復(fù)雜的材料,材料表面處理的均勻性好。
5、適用性廣,各種材料、形狀都可以處理。

  • 所在城市:無錫市
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新日期:2024-10-16
  • 訪  問  量:4286

詳細(xì)介紹

品牌LEBO/雷博產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域能源,電子,綜合

設(shè)備的優(yōu)點(diǎn):

1、采用射頻電源、自動(dòng)匹配器,一鍵式操控。

2、低溫等離子體,能量低、密度高,適合處理特殊材料。

3、無環(huán)境污染、無化學(xué)品消耗。

4、可處理形狀復(fù)雜和微細(xì)結(jié)構(gòu)的材料。


設(shè)備的參數(shù):

腔體材質(zhì) :鋁合金

供電電源 : AC220V、1000W

濺射電壓:MAX 2500V

濺射電流:MAX 30mA

靶材尺寸:直徑57mm,厚度0.1~0.5mm

射頻電源功率: 0-300W可調(diào)

射頻頻率: 13.56MHz

真空度:≤100Pa

氣體路數(shù):2路

氣體流量:MFC氣體質(zhì)量流量計(jì)   500SCCM(可調(diào))

控制: 觸屏

清洗時(shí)間:1-6000s連續(xù)可調(diào)

處理尺寸:≤8寸

內(nèi)腔尺寸:226mm(長(zhǎng))*126mm(高)*224mm(深)

外形尺寸: 620mm*560mm*410mm(寬*深*高)

重量:≈38KG

真空泵:飛越ARV-4





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